Mo靶相关论文
本论文的实验工作是在中科院近代物理研究所320kV高压平台上完成的。实验中，采用不同能量(1500-3500keV)、不同电荷态(10-30)Xeq+离......
用磁控溅射法制备了周期厚度和周期数均相同的Mo／Si多层膜，用原子力显微镜和小角X射线衍射分别研究了Mo靶溅射功率不相同时，Mo／Si多层......
