Nb-Si-N相关论文
用反应磁控溅射法在不同的氮分压下沉积了Nb-Si-N薄膜.结果表明：Nb-Si-N膜的成分、结构和性能随氮分压的改变而不同.随氮分压的增加......
针对Nb-Si-N 纳米复合薄膜在沉积过程中Nb、Si、N 单原子与NbN 晶粒相遇之后聚集与分离情况进行了研究.采用基于密度泛函理论（DFT）第......
针对Nb-Si-N纳米复合薄膜在沉积过程中各原子的成核过程和生长取向,采用基于密度泛函理论（DFT）第一性原理超软赝势平面波计算方法分......
