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Ni-Salicide浅结相关论文
适用于深亚微米CMOS器件的Ni自对准硅化物工艺的研究
本论文对适用于深亚微米CMOS器件的镍自对准硅化物工艺进行了深入的研究。随着器件尺寸的进一步缩减,与传统的Ti、Co自对准硅化物相......
学位
深亚微米CMOS器件
镍自对准硅化物工艺
NiSi薄膜
Ni-Salicide浅结
反向漏电流
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