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非晶态 NiSiB 薄膜电阻的弛豫
用射频溅射制备了一组厚度不同的NiSiB非晶态薄膜.在不同温度下,用不同时间对薄膜进行了循环退火.实验测量了循环退火后的薄膜电阻随温度的......
期刊
非晶态材料
弛豫
薄膜电阻
NiSiB
溅射制备
电阻温度系数
等温退火
电阻变化
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非晶态合金
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