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高导热氮化硅陶瓷的低温烧结和性能研究
以Si粉体作为起始原料,以ZrO2-Y2O3-MgO作为三元烧结助剂体系,通过流延成型和低温无压烧结工艺制备高导热氮化硅陶瓷基片,研究了Zr......
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氮化硅基片
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Silicon nitride circuit substrate
Tape casting
Nitridatio
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