OS电容器相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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射频离子辐射损伤的激光退火

本文介绍了等离子刻蚀和去胶对MOS、MNOS电容器和双板晶体管所产生的辐射损伤的激光退火，用连续CO2激光器从背面照射蕊片，可以明显地......

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等离子刻蚀辐射损伤激光退火连续CO2激光器射频 OS电容器 MIS结构界面陷阱固定电荷器件特性

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