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O_2-SF_6相关论文
聚酰亚胺在O_2-CF_4和O_2-SF_6等离子体中的干腐蚀
研究了Kapton H型聚酰亚胺膜在平行板反应室中用两种不同的气体混合物(O_2-CF_4和O_2-SF_6)的等离子体腐蚀。这两种情况都获得了高......
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聚酰亚胺
等离子体
O_2-CF_4
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聚酰亚胺膜
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