采用超声喷雾热分解(U ltrason ic Spray Pyrolysis,USP)方法,以醋酸锌、醋酸镁、醋酸铵、氯化铝的混合水溶液为前驱溶液,在单晶S ......

采用超声喷雾热分解（Ultrasonic Spray Pyrolysis，USP）方法，以醋酸锌、醋酸镁、醋酸铵、氯化铝的混合水溶液为前驱溶液，在单晶Si（100）衬底......

采用直流反应磁控溅射方法，由氨气和氧气的混合气体在玻璃和单晶硅衬底上制备Al、N共掺Zn1-xMgxO薄膜。采用XRD、FE—SEM、Hall实验......