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PCVD-TiN薄膜相关论文
辅助加热PCVD-TiN薄膜的制备及影响因素
研究了反应气体对辅助加热PCVDTiN薄膜制备的影响。结果表明,提高反应气体中TiCl4的含量可以提高薄膜的沉积速率,而且对薄膜内的氯含量没有影响......
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辅助加热PCVD-TiN薄膜的性能及结构分析
研究了反应气体对辅助加热PCVD-TiN薄膜制备的影响。结果表明,提高反应气体中TiCl4的含量TiN薄膜内的氯含量基本不变。提高反应气体中的H2/N2比可以略降低......
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