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PVD溅射相关论文
PVD溅射技术在MEMS器件制作中的应用
简单介绍了PVD溅射系统和溅射原理.实验分析了PVD溅射技术在微晶玻璃基片溅射沉积Cu膜时,沉积速率随相关工艺参数变化而变化的几点规......
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微机电系统
PVD溅射
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