Sr2Bi4Ti5O18(SBTi) single layered and Sr2Bi4Ti5O18 /Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(SBTi/PZT) bilayered thin films have been prepared......

近年来,PZT铁电薄膜因其良好的电、光、热电和超声等方面性能引起了研究工作者的广泛关注.大量研究表明,膜中钙钛矿相含量越多,铁......

铁电材料在铁电存储器、红外探测器、声表面波和集成光电器件等固态器件方面有着非常重要的应用,极大地推动了铁电物理学及铁电材......

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用不同升温速率控制ＰＺＴ薄膜晶化过程，实验结果表明，当晶化温度在４００￣６００℃时，薄膜显然绿石相，当采用较高升温速率５０℃／ｍｉｎ时，在硅片上可缩小焦绿石相生成......

针对超声换能器阵列中阵元密度难以提升和工艺重复性差等问题,提出了一种基于硅-硅键合技术的MEMS压电超声换能器二维阵列的制备方......