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PtSi-Si肖特基势垒红外探测器中Pt的溅射

采用物理溅射法制备了用于红外(IR)器件中具有良好性能的高纯Pt膜。本文将讨论在Si片上溅射Pt的制作工艺及其PtSi的形成机理。最后......

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PtSi-Si 肖特基势垒红外探测器溅射法硅化物形成机理半导体技术单片式硅表面均匀性

PtSi-Si(P)肖特基势垒探测器的红外响应机理探讨

外加偏压的PtSi肖特基势垒二极管(SBD)对入射的IR光有响应,该响应是由于IR光在PtSi膜中产生热空穴,其中一部分越过PtSi-Si界面的SB......

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肖特基势垒 PtSi-Si 探测灵敏度传输机理反射模型多次反射材料选取响应机理响应特性硅衬底

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