RF-溅射相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

RF-溅射相关论文

β-SiC薄膜的低温沉积及特性研究

被誉为最有潜力的宽禁带半导体材料一SiC，因其具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率大、电子饱和漂移速度高、介电常数小、抗辐射能......

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PECVD Cat-CVD RF-溅射 β-SiC 低温纳米衬底负偏压分步偏压场发射

RF-溅射制备氧化钒薄膜及其电致开关特性研究

为适应集成电路对存储器低功耗、高容量、高速度等要求，阻变存储器因为其简单的结构、操作功耗低和工艺简单并兼容于当今主流工艺而......

学位

氧化钒薄膜 RF-溅射阻变存储器电致开关特性阻变机理

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