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本文介绍了薄膜锂离子电池电极的射频磁控溅射制备方法.研究了在特定实验条件下薄膜的生长过程及计算机模拟方法。......
利用射频磁控溅射方法,在石英表面上制备了具有良好的c轴取向的纳米ZnO薄膜。室温下,在300 nm激发下,在450 nm附近观测到ZnO薄膜的......
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了Mg0.33Zn0.67O薄膜,研究了Mg0.33Zn0.67O薄膜的结构和光学性能.结果表明,Si(100)衬底上Mg0.33Zn0......