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SI-InP单晶薄层电阻和位错密度的研究
本文应用“暗斑”扫描技术与薄层电阻测定方法测定了半绝缘 InP(SI-InP)衬底的薄层电阻径向分布。结果表明,以两种不同的测试方法......
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薄层电阻
SI-InP
位错密度
半绝缘
测试方法
暗斑
范德堡法
径向分布
欧姆接触
接触特性
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