Si02-Ge02平面波导材料相关硕士博士期刊学术论文

Si02-Ge02平面波导材料相关论文

本文采用火焰水解法（FHD）在单晶Si片上快速淀积SiO2/SiO2-GcO2厚膜，再经过高温玻璃化处理，获得了玻璃态的平面波导材料。下包层SiO2膜......

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