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TaMoN复合膜相关论文
TaMoN复合膜的微结构、力学性能与摩擦性能
采用多靶磁控溅射技术,根据不同Mo靶功率制备一系列不同Mo含量的TaMoN复合膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪、扫......
期刊
复合膜
TaMoN
TaMoN复合膜
磁控溅射
微结构
力学性能
摩擦性能
单层膜
扫描电子显微镜
纳米压痕
TaN-基纳米复合膜和多层膜的微结构及性能研究
采用多靶磁控溅射技术,在Si(100)和不锈钢基片上,采用不同负偏压沉积一系列TaN单层膜,采用不同V靶功率制备一系列不同V含量的TaVN复合......
学位
TaN单层膜
TaVN复合膜
TaMoN复合膜
TaN/VN多层膜
微结构
力学性能
摩擦磨损性能
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