TaVN复合膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

TaVN复合膜相关论文

V含量对TaVN复合膜微结构、力学性能和摩擦性能的影响

采用磁控溅射仪制备了一系列不同V含量的TaVN复合膜,利用X射线衍射仪研究复合膜以及磨痕的相组成,利用纳米压痕仪表征复合膜的硬度......

期刊

TaVN复合膜磁控溅射力学性能摩擦性能 TaVN composited films magnetron sputtering technique me

TaN-基纳米复合膜和多层膜的微结构及性能研究

采用多靶磁控溅射技术，在Si(100)和不锈钢基片上，采用不同负偏压沉积一系列TaN单层膜，采用不同V靶功率制备一系列不同V含量的TaVN复合......

学位

TaN单层膜 TaVN复合膜 TaMoN复合膜 TaN/VN多层膜微结构力学性能摩擦磨损性能

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