TaN单层膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

TaN单层膜相关论文

不同靶材制备TaN单层薄膜的晶体结构与力学性能

以钽氮化物为个体层材料，利用FJL560C12型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统，制备以TaN和金属Ta为靶材的两种TaN单层薄膜．通过XRD......

期刊

射频磁控溅射 TaN单层膜 TaN靶材 Ta靶材 RF magnetron sputtering TaN monolithic coating TaN targ

TaN-基纳米复合膜和多层膜的微结构及性能研究

采用多靶磁控溅射技术，在Si(100)和不锈钢基片上，采用不同负偏压沉积一系列TaN单层膜，采用不同V靶功率制备一系列不同V含量的TaVN复合......

学位

TaN单层膜 TaVN复合膜 TaMoN复合膜 TaN/VN多层膜微结构力学性能摩擦磨损性能

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