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Tm掺杂AlN相关论文
Tm掺杂AlN薄膜结构及其光致发光特性研究
利用射频磁控反应溅射方法,以A1—Tm舍金为靶材,Si(100)为衬底,制备了铕(Tm)掺杂的氮化铝(AlN)薄膜.利用X-射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)研......
期刊
Tm掺杂AlN
射频磁控反应溅射
光致发光光谱
Tm-doped Aluminum nitride
RF Magnetron sputtering
Phot
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