ULTRA-PRECISION相关论文
Design of Ultra-Precision CNC Grinding Machine and Its Application in Machining Large Aspheric Mirro
Large aspheric mirrors are needed for the remote sensing and ground based telescope optical systems,these mirrors are ma......
为使工程纳米技术成为一个实用学科,需要能在亚原子量级上进行定位与制造的机器.笔者已对它的结构、马达配电原理、干涉技术等细节......
提出了一种新型二维超精密微步进工作台的结构形式,并针对该结构设计了相应的微步进执行器.以新型功能材料Piezo作为驱动元件,分析......
以小口径超精密数控磨床为研究对象,利用CATIA建立其各部件的三维几何模型.通过有限元软件ANSYS分别建立工件轴部件、磨轮轴部件及......
随着计算机软、硬件技术的发展,误差补偿技术其性价比高、可靠性好等优点日益受到重视,通过合理的补偿,可使被加工零件的精度得到......
设计研制一种用于成形表面接触式在线测量的超精度测量仪.它的优点如下:①测量力很小,(约0.001～0.0015N),对被测表面不会产生划伤、......
气浮轴承存在明显的非线性的特性，而精密工作台又要求较高的精度，传统的PID控制方法较难满足系统定位精度的要求。在分析精密气浮平......
为使工程纳米技术成为一个实用学科,需要能在亚原子量级上进行定位与制造的机器.笔者已对它的结构、马达配电原理、干涉技术等细节......
拟实制造技术具有以下4个基本特征：沉浸性、交互性、多感知性、自主性，使用者与虚拟环境中的各种对象的相互作用，让使用者有一种身临......
超精密加工技术在提高机电产品性能、质量方面起着至关重要的作用.本文介绍了几种常见的超精密加工方法,并分析了其影响因素,同时......
With the increasing market demand for optical complex surface parts,the application of multi-axis ultraprecision single-......
分析了平面电机的结构及其原理，提出了相应控制技术。对平面电机的驱动力进行解耦，讨论了磁场非均匀性及磁场耦合对平面电机驱动力非......
直线电动机以其高精度、高刚度、高效率、运行平稳、零传动以及宽的速度范围等优势,在超精密运动平台中的应用越来越广泛.超精密运......
直线电机带动空气静压导轨的进给驱动方式,结合了空气静压导轨极低摩擦、无爬行、极高运动精度等优点以及直线电机驱动的高刚度、......
针对光刻机工作台多维纳米级同步运动,提出一种基于光纤链路的同步测控机制,实现了针对各运动轴控制指令执行和传感数据采集的严格......
迭代学习控制（ILC）通过对重复运动轨迹的不断学习可提高系统位置跟踪的快速性和跟踪精度，而交叉耦合控制（CCC）通过对轮廓的闭环控制可以......
为了满足超精密定位的需求，介绍了一种基于相位差跟踪的定位原理；针对该方法的具体要求，详细描述了系统的工作过程并设计完成了该定位......
概述了最近超精密研磨技术的研究动态,介绍了研磨技术的原理、应用和优势,同时介绍了课题组研制的基于修正环在线修整抛光盘技术及......
金刚石车削是利用高精度机床与锋利的单晶金刚石刀具加工出尺寸精度高、表面完整性好的零件的一种金属加工技术.用回归分析的方法,......
介绍了超精密双面抛光机的控制系统,对其实现方法进行了研究,分析了控制系统的组成,提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案.......
微米级的面形精度和纳米级的表面粗糙度,以及由其表面结构所引起的加工千涉、轨迹限制、工具磨损、效率低下等一系列问题,都严重制......
由一维双基程差方程即能直接获得长基线测向公式，在进行合理简化之后又可得到形式非常简单的单基程差测向式。如仅从外在表现形式而......
设计了纳米级双面抛光机的控制系统，对其实现方法进行了研究，分析了控制系统的组成，提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案。采......
分析比较了慢刀伺服和快刀伺服两种先进车削方式在机床结构、进刀方式、伺服特点及适应对象等方面各自的特性,并给出了各自可加工......
随着微机电和纳米技术的快速发展，复杂形面微小零件的超精密加工显得越来越重要。本文通过对复杂曲面超精密加工的研究，针对金属材料......
Research of Digital Manufacturing Technology Application on Ultra-precision Optical Workpiece Machin
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This paper gives an error analysis of radial motion measurement of ultra-precision spindle including nonlinearity error ......
A new idea for designing wheel patterns is presented so as to solve the problems about machining accuracy ofworkpiece an......
The null space of the 6-DOF gain decoupling matrix of actuators and a modified velocity feedback controller are adopted ......
基于刚性运动学理论建立了二维超精密工作台运动测量模型，并在此基础上使用辅助测量装置的三个测量位姿和二维傅里叶变换提出了二维......
