UV-LIGA工艺相关论文
随着太赫兹技术(THz)的发展,真空电子器件的研究越来越小型化,作为核心部件的折叠波导由于具有独特的优点,在高频结构中必将得到广......
随着MEMS(微电子机械系统)技术的迅速发展,基于SU-8胶的UV-HGA技术得到了广泛的应用。SU-8厚光刻胶已经成功地应用于高深宽比微结......
微波移相器在仪器、测量、功率合成器以及线性放大器等领域中，尤其是在相控阵雷达天线阵列中有广泛的应用。尽管相控阵天线阵列仍主......
微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点,利用微细群电极进行微细加工可显著提高加工效率。研究了UV-LIGA制作......
针对金属微注塑模具UV-LIGA制作过程中由于SU-8胶内应力过大而引起的胶膜破裂、变形甚至脱落等问题，提出将超声时效技术应用于微注......
为了获得镀层平整、致密的金属铜结构,经过反复实验研究获得了电铸铜溶液的最优化配比.首先采用UV-LIGA工艺制作出SU-8胶膜微结构,......
随着MEMS技术的发展和广泛应用,MEMS引信安全保险装置的发展非常迅速,在一些引信类型中必然将取代传统的机械式安全保险机构。对于......
根据光学领域对高深宽比金属微器件的需求,利用UV-LIGA工艺在金属基底上制作了具有高深宽比的金属微光栅。采用分层曝光、一次显影......
准椭圆带通滤波器能够以最小数量的谐振器提供陡峭的带外抑制,最小化相邻信道中的信号干扰,并且减小组件的体积和质量,能够较好满......
介绍了一种新颖的微注塑模具的制作方法———无背板生长法,它是利用负性厚SU-8光刻胶,通过低成本的UV-LIGA表面微加工工艺,直接在......
