微波移相器在仪器、测量、功率合成器以及线性放大器等领域中，尤其是在相控阵雷达天线阵列中有广泛的应用。尽管相控阵天线阵列仍主要用于军用雷达和其他追踪平台，在近十年也出现了许多商业领域的应用：如在低地球轨道通讯卫星星座，碰撞预警雷达，智能高速公路系统和自动控制高速公路系统中等。军用相控阵雷达主要使用基于铁氧体开关的移相器（其制造成本较高，约占整个雷达系统的40％左右）。除铁氧体开关移相器以外，基于PIN和FET固体开关的移相器在近十年也逐渐成熟。相比于以上固体开关移相器技术，基于MEMS开关的微波移相器具有截止频率高，损耗低，体积小等优秀特点，在近几年被广泛研究。　　随着MEMS技术在射频领域的应用，产生了一个全新的研究领域—RFMEMS，它使得射频器件向微型化发展。RFMEMS器件不仅在体积上远小于传统的射频器件，方便集成，并且在性能上也有很大的提高。与传统射频器件相比，RFMEMS器件具有体积小、功耗低、重量轻、成本低等优点，并与传统的IC技术相兼容，使得单片集成成为可能。可以说，MEMS技术为无线通信系统向微型化、低功耗和更高的工作频率发展提供了新的技术途径。　　本文深入分析了基于MEMS技术的微波移相器的基本理论，综述了各种MEMS移相器电路的工作原理。针对开关线型移相器片上面积较大的缺点，采用叉指式共面波导传输线作为开关线型移相器的延迟线，构建了一种紧凑型MEMS开关线移相器，并且通过增加辅助驱动电极、悬空梁折叠结构等技术措施，有效降低了MEMS开关的驱动电压。采用CoventorWare，Ansoft HFSS有限元分析软件对上述静电驱动RFMEMS开关以及45°、90°和180°移相器进行了全面系统的仿真分析。结果表明，虽然叉指式共面波导有效地降低了移相器的片上面积，但是移相器具有较低的插入损耗和适当的隔离度，有效保持了MEMS移相器的关键技术优势。　　采用改良的UV-LIGA工艺，完成了45°、90°和180°移相器样品的集成制造。相比于传统硅基底开关线型移相器，本文所研制的移相器的片上面积减小了约60%。经测试，新型RFMEMS移相器样品在10GHz中心频率的插入损耗为2.25dB，在整个X波段，回波损耗低于-21.1dB。移相器在10GHz中心频率时的相移误差小于7.6%。实验测试结果优于设计指标。