提出了一种聚苯乙烯（PS）微针阵列的微细加工工艺，即利用紫外线光刻技术在光刻胶上得到与准LIGA（Lithograpie（光刻），Galvanoformung（电铸），Abf......

微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点，利用微细群电极进行微细加工可显著提高加工效率。研究了UV—LIGA制作......