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该文主要研究难熔金属Mo对于C54 TiSi生长的增强效应的机制问题.将约1 nm Mo薄膜沉积在Ti薄膜和Si衬底之间,或者沉积在Ti薄膜的表......
通过三步直接键合方法实现了Si/Si键合.采用XPS、FTIR、I-V、拉伸强度等手段对Si/Si键合结构的界面特性作了深入广泛的研究.研究结......
采用三步法在GaAs衬底上实现InP材料的键合,通过X-射线光电子谱(XPS)对样品键合界面进行化学价态和深度分布分析.结果表明,键合温......