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XeF2气体相关论文
CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器
提出了一种CMOS工艺兼容的、并采用xeF2气体干法刻蚀工艺释放的热电堆红外探测器。探测器包括硅基体、框架、热电堆、支撑臂、红外......
期刊
热电堆
红外探测器
干法刻蚀
XeF2气体
thermopile
infrared detector
dry etching
XeF2 vapor
CMOS兼容的干法刻蚀释放热电堆红外探测器
作为传统的红外探测器,非制冷型的热电堆探测器由于其结构简单、尺寸较小、成本较低等特点而被广泛应用。采用微机械手段加工的MEM......
学位
热电堆探测器
XeF2气体
低应力Si3N4
N-MOSFET
单片集成
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