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对ZGK-50型自动对准投影光刻机自动对准系统电气最佳状态的讨论
河北半导体研究所与清华大学联合研制了我国第一台自动对准投影光刻机—ZGK-50型.其自动对准精度为±0.25μm,套刻精度为±1μm,这......
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