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ZrO_2-12wt相关论文
ZrO_2-12wt% Y_2O_3沉积薄膜退火后处理前后的相结构研究
在不同温度衬底上射频磁控溅射沉积ZrO2-12wt%Y2O3薄膜进行了不同方式的退火后处理。其一为1000℃大气气氛下的热退火处理,其二为高真......
期刊
沉积薄膜
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功能薄膜
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