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ZrSiN薄膜相关论文
Si含量对ZrSiN薄膜微结构及性能的影响
采用非平衡磁控溅射法制备Zr1-xSixN薄膜,利用能谱分析、x射线衍射、扫描电镜、纳米压痕仪和摩擦磨损仪等对薄膜的化学成分、微结构......
期刊
ZrSiN薄膜
微结构
力学性能
摩擦磨损
抗氧化
ZrSiN thin film nanostructure mechanical behavior fric
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