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真空微电子触觉传感器场致发现陈列的研究
阐述了真空微电子触觉传感器的工作原理。采用半导体集成电路加工技术和硅微各向异性腐蚀及氧化锐化工艺,在电阻率为3 ̄5Ω·cm的n型(100)硅......
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