c-BN薄膜相关论文
用射频溅射两步法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜,由傅立叶变换红外吸收光谱计算其立方相含量,用紫外-可见光分光光度计测得薄膜的反射......
RF射频溅射法制备c-BN薄膜,使用离子注入法将Be注入c-BN薄膜中进行掺杂,测量了掺杂前后c-BN薄膜的表面电阻率,并计算掺杂后c-BN薄......
随着卫星通信，网络通信以及无线通信等向高频化(4.8GHz以上)的发展，高频声表面波器件必须具有高声速、高机电耦合系数、低声速频散等......
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。射频溅射两步法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜@冯贞健$北京工业大学教育部新型功能材料重......
用射频磁控溅射方法得到了低应力立方氮化硼薄膜。红外光谱结果表明 ,薄膜具有很好的附着力 ,且含有少量的E BN和w BN。电子衍射谱......
本文对热灯丝（热电子）辅助射频等离子体ＣＶＤ法制备的立方氮化硼（ｃ－ＢＮ）薄膜进行了研究。实验结果表明，ｃ－ＢＮ膜的质量与膜沉积条件有密切的关系。并对其......
采用离子束辅助沉积法在硅片上成功制备了一定立方相含量的氮化硼薄膜,采用各种现代分析方法对沉积的薄膜进行了表征分析,包括傅立......
