对单晶硅表面进行极微细加工中,直接用摩擦力显微镜机构(FFM)进行机械加工,然后用KOH溶液对加工基片腐蚀,发现被加工部位能形成凸......

在中国科学院上海应用物理研究所的扫描质子微探针装置上，研制了图形化扫描器，同时研究了适合质子束刻写的光刻胶制备、显影、定影技......

The interconnection ofwires is an important issue in vacuum-packaged microelectromechanical systems devices because of t......

双光束双曝光和四光束单曝光是无掩模激光干涉光刻的两种典型方法,都容易利用现有光刻工艺,在不需掩模和高精度光刻物镜的情况下,......

激光干涉光刻不受传统光学光刻系统光源和数值孔径的限制,其极限尺寸CD达到曝光波长的1/4,研究了波前分割双光束、三光束方法及四......

Laser shaping was introduced to maskless projection soft lithography by using digital micro-mirror device (DMD). The pre......