碱金属原子气室是陀螺仪、磁力计和原子钟等原子传感器的核心部件。利用微机电系统(MEMS)技术实现微型化,是当今原子气室的重要发......

为了进一步降低微机电系统（MEMS）电化学地震检波器敏感电极的加工成本,提升传感器的灵敏度,推动其在地球物理勘探等领域的发展,提出......

采用双槽电化学腐蚀法成功的制备了多孔硅，从多孔硅的SEM照片中发现。孔径尺寸小，均匀性好，腐蚀深度大（超过100μm），在极稀的弱碱溶液中......

微型飞行器（MAV）不是常规飞行器的简单缩小，尺寸的微型化带来气动力、推进、控制以及系统集成等一系列问题，给MAV的研制造成许多难以克......

为避免静电微泵因驱动电压过高而出现吸合现象,建立描述静电泵膜吸合与释放现象的一维集中质量模型、二维分布式模型和三维有限元......

To avoid wildlife-human conflict several solutions are used, like electrical fences, the most expensive solution. Nowada......

A novel on-line north-seeking method based on a three-axis micro-electro-mechanical system(MEMS)gyroscope is designed.Th......

3D-Honeycombed CL-20 structures with low critical size of detonation have been fabricated successfully for intelligent w......