microactuators相关论文
介绍了几种新型微机电系统(MEMS)光开关的设计、制造和性能.研制了一种摆动式微电磁驱动器,用其驱动反射镜切入和切出光路.在此基......
MEMS技术在未来的发展中有着重要的意义.本文介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微泵为例,详细比较了致动器的执行机......
在微电子、微机械和微光学的基础上,休成传感器,执行器和信号处理单元于一体的微系统技术,是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在......
由于高新技术的迅速发展,微型机械包括各种微传感器、微执行器和微控制器的研究和为一些尖端技术发展过程中的重要手段越来越受到国......