报道了用真空反应蒸发制备ｎｍＳｉ／ＳｉＯｘ薄膜，制备出含有不同纳米尺寸硅颗粒的薄膜，研究了不同条件下得到的ｎｍＳｉ－ＳｉＯｘ薄膜的结构和组分，实验发现以ＳｉＯ为蒸发源制......

报道了用真空反应蒸发制备nmSi/SiOx 薄膜 ,制备出含有不同纳米尺寸硅颗粒的薄膜 ,研究了不同条件下得到的nmSi SiOx 薄膜的结构和......