反应蒸发制备nmSi-SiO_x发光薄膜

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：e5134

【摘要】

：

报道了用真空反应蒸发制备nmSi/SiOx 薄膜 ,制备出含有不同纳米尺寸硅颗粒的薄膜 ,研究了不同条件下得到的nmSi SiOx 薄膜的结构和组分。实验发现以SiO为蒸发源制备的薄膜能

【作者】

：

张仕国樊瑞新邓晓清袁骏陈伟

【机构】

：

浙江大学硅材料国家重点实验室!杭州310027,浙江大学硅材料国家重点实验室!杭州310027,浙江大学硅材料国家重点实验室!杭州310027,浙江大学硅材料国家重点实验室!杭州310027,中国科学

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1999年05期

【关键词】

：

反应蒸发 nmSiSiOx 发光

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

报道了用真空反应蒸发制备nmSi/SiOx 薄膜 ,制备出含有不同纳米尺寸硅颗粒的薄膜 ,研究了不同条件下得到的nmSi SiOx 薄膜的结构和组分。实验发现以SiO为蒸发源制备的薄膜能够实现光致发光。初步分析nmSi SiOx 薄膜发光机制可能是由纳米硅量子效应引起的 ,界面效应和缺陷对薄膜PL可能没有贡献 ,解释了有纳米硅颗粒存在但观察不到PL的原因

其他文献

聚焦民生金融抢占战略高地——中国首届民生金融论坛述评

成势多开坛,盛世尚布道。2012年5月26日下午,由连云港市政府金融工作办公室、中国人民银行连云港市中心支行、江苏银行连云港分行共同主办的中国首届民生金融论坛在连云港市

期刊

民生金融江苏银行民生经济

城乡梯度带生态空间组织模式与生态功能区划研究——以大杭州都市区为例

采用定量与定性相结合的方法,构建了大杭州都市区城乡土地开发适宜度评价三级指标体系与土地开发适宜度评价指数,综合运用遥感技术与GIS空间分析方法对区域土地开发适宜度进

期刊

土地开发适宜度评价城乡梯度带生态功能区划大杭州都市区

充分发挥政府引导基金作用促进产业与资本融合发展

根据国家有关文件精神,山东省先后出台了《关于运用政府引导基金促进股权投资加快发展的意见》和《省级股权投资引导基金管理暂行办法》,政府引导基金管理运作进入了法制化、

期刊

政府引导基金山东省基金管理机构广发证券

浅谈工程设计阶段造价控制失控的原因及对策分析

工程设计阶段造价控制的好坏,直接关系到建设项目的质量和经济效益。本文对工程设计阶段如何进行造价控制进行了剖析,主要对设计阶段造价控制的失控原因进行了分析,并对于如

期刊

设计阶段造价控制失控对策

浅谈乌冬面的包装技术

介绍了乌冬面软包装产品的包装技术,内容包含乌冬面包装对包装材料的要求,对包装封口技术的要求,以及对乌冬面单体产品密封性的控制与检验方法。

期刊

包装封口检查

混凝土房屋建筑结构裂缝控制分析

对混凝土裂缝的相关概念进行了简单介绍,分析了混凝土房屋建筑结构裂缝出现的原因,并从减少水泥用量、保障楼板强度、增大粗骨料粒径三方面,提出了相对应的控制措施,从而进一

期刊

混凝土裂缝水泥楼板温度

生育意愿的测量与应用

文章基于"江苏省群众生育意愿和生育行为研究"和有关生育意愿的国内外调查研究,回顾并讨论了有关生育意愿指标的测量、有效性和可靠性及其应用。作者认为,理想子女数、期望生

期刊

生育意愿生育行为生育政策

设计艺术中的陌生化思维

陌生化作为一种设计思维可以指导我们的设计行为。它强调对现实事物的再思考与重新实现的可能。陌生化既是结果,又是实现结果的途径。

期刊

设计陌生化思维

脑性瘫痪儿多涎及其治疗

脑性瘫痪(脑瘫)儿多涎是一常见的疑难病症,流行病学研究认为10％～37.4％的脑瘫儿有多涎症状。流涎的先期表现,仅为一口腔的功能性损害症侯,但后续很可能导致不断地更换衣服及口水

期刊

导管结扎唾液分泌

吉林省西部干旱瘠薄沙地樟子松引种造林试验苗期初报

本文对引进的１４个地理种源樟子松造林成活率、生长节律及生长量进行了综合分析，为本地区樟子松造林的种源选择及樟子松经营提供了理论论据。

期刊

干旱沙地樟子松引种苗期试验

反应蒸发制备nmSi-SiO_x发光薄膜

与本文相关的学术论文