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基于MEMS加工工艺的亚毫米波肖特基单端混频器
基于MEMS技术完成了一个360GHz肖特基混频器的设计与加工制作。由于亚毫米波电路尺寸微小,通常的蚀刻方法不能满足加工精度要求,而ME......
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