真空多弧离子镀沉积四面体非晶碳薄膜(ta-C)过程中,利用90°磁过滤器弯管去除大颗粒.本文探究了磁场强度、弯管偏压、弧电流和挡板......

为研究磁过滤阴极弧制备的四面体非晶碳（tetrahedral amorphous carbon，ta-C）膜在自然环境中使用的热稳定性，将ta—C膜在空气中退火3h，......