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晶硅纳米线的三维构架集成及超低温生长
场效应晶体管是集成电路的基础逻辑单元,目前芯片中的晶体管的制备方法来主要采用自上而下的加工技术。为了提升芯片的集成度,晶体......
学位
硅纳米线
三维纳米螺旋
柔性电子
纳米线晶体管
纳米机电系统
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