中频孪生靶相关论文
用中频孪生靶磁控溅射法沉积制备了掺铒、镱铒共掺AlO薄膜,探索了氧气氩气分压、不同衬底、镱铒共掺杂、掺杂浓度、后退火温度、退......
将中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺结合起来制备了Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC硬质膜.硬质膜呈深黑......
纳米硅(nc-Si)薄膜是硅纳米晶与非晶硅(a-Si)网络复合的一种半导体纳米材料，掺入氢后在室温下具有优良的综合性能，如高的电导率、对......
本文首先对Ti-N-C膜系的硬质膜的性能、制备以及检测手段进行了综述。在此基础上，采用离子束辅助中频非平衡磁控溅射技术制备了Ti／Ti......
采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄......
