主轴伺服控制相关论文
微细电火花加工作为较低成本、非接触式的特种微细加工技术,在金属材料、半导体材料、甚至陶瓷材料的微孔、微槽、三维微结构的加工......
介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统,分析了主轴 伺服系统 的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设......