产酸源相关论文
合成了一种新的磺酸酯类化合物(BTOC)作为酸增殖剂,将其与二苯基碘鎓盐一起作为CTP版材的复合产酸源,在红外激光(830nm)和紫外光下......
该文在大量的文献调研该室以前工作的基础上,研制出两种不同体系的热敏CTP版材,并对有望成为未来发展方向的光热杂交体系进行了初......
综述了近十年来DUV抗蚀剂体系的进展,特别对DUV区化学增幅抗蚀剂的矩阵树脂、产酸源、阻溶剂作了详细的阐述.并指出,通过改进感光......
【正】 一、前言 CTP制版的历史可以追溯到五、六十年代的照相排版和感光高分子材料制版技术,七十年代的激光扫描成像技术(有人将1......
综述了近十年来DUV抗蚀剂体系的进展,特别对DUV区化学增幅抗蚀剂的矩阵树脂、产酸源、阻溶剂作了详细的阐述。并指出,通过改进感光高......
在大量的文献调研及以前工作的基础上,研制出热敏负性CTP版。其热敏层的基本组成为:(1)线型酚醛树脂;(2)羟甲基酚醛树脂;(3)产酸源......
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