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高精度和高分辨率的超精密工作台在近代尖端工业生产和科学研究领域具有极为重要的地位和广泛的应用前景。超磁致伸缩精密位移驱动......
针对压电陶瓷精密位移控制系统,分析了PID控制系统和模糊控制系统的控制性能,在自适应模糊PID控制的基础上,通过控制过程中对模糊......
本文介绍了利用新型微位移驱动器、位移传感器、Ｘ－Ｙ弹性工作台等组成的定心系统。该系统利用传感器测得的信号，通过模型处理可同时获得......
针对压电陶瓷等非线性系统,建立压电陶瓷微精密位移系统模型,并将模糊控制器替换传统的比例、积分和微分（PID）控制器,实现对PID参数......
本文介绍了一种在平移过程中倾斜误差远小于秒级的光学精密平移器(以下简称精平移器)的工作原理及应用范围,介绍了该器件的作用原......
考虑利用白光干涉仪进行表面三维形貌测量时压电陶瓷(PZT)的蠕变效应对微位移驱动器位移精度的影响,提出了一种沿参考镜光轴方向提......
