低k绝缘层相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

低k绝缘层相关论文

低k绝缘层及其设备

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铜互连及其相关工艺

介绍了铜互连、金属间低K绝缘层和CMP工艺.ITRS2001/1999对铜互连、金属间低K绝缘层和CMP工艺提出了具体的要求和进程.ITRS2001比I......

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铜互连低K绝缘层化学机械抛光

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