偏聚理论相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

偏聚理论相关论文

残余氯在等离子体增强化学气相沉积TiN膜中的偏聚过程研究

通过分析等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的特点,对残余氯的存在机制、等离子体场中离子轰击对氯在TiN膜内分布的影响作了进一步......

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氯等离子体化学气相沉积 TIN膜偏聚理论氮化钛 PECVD segregation residual chlorine TiN

一种实验确定多晶材料晶界区弹性模量的方法

基于张应力作用引起的溶质非平衡晶界偏聚理论模型，提出了通过测量张应力引起的溶质非平衡晶界偏聚量，求多晶材料晶界区弹性模量为方......

期刊

多晶材料晶界区弹性模量偏聚理论张应力空位

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