光刻胶灰化相关论文
球面闪耀光栅是国家同步辐射实验室光化学光束线中1米Seya-Namioka单色仪中最重要的色散光学元件.用于真空紫外波段同步辐射光束线......
激光干涉制作亚微米尺寸磁性周期结构中,基底材料具有高反射率,由于垂直驻波的影响,光刻胶浮雕图形侧壁产生"束腰",本文将O2反应离......
以AZ1500光刻胶为例,将氧气作为工作气体的反应离子束刻蚀工艺用于光刻胶图形的灰化处理,以去除经紫外曝光-显影后光栅中的残余光......
激光干涉制作亚微米尺寸磁性周期结构中，基底材料具有高反射率，由于垂直驻波的影响，光刻胶浮雕图形侧壁产生“束腰”，本文将O2反应离子......
针对全息离子束刻蚀衍射光栅制作中,光刻胶光栅浮雕图形的制作是至关重要和困难的,引入O2反应离子刻蚀对光刻胶光栅进行灰化处理,......
