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光学微镜相关论文

基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征

为了改善扭转微镜的机电耦合特性和光学特性，提出了一种新的基于SOI硅片的垂直扭转梳齿静电驱动结构．通过有限元与边界元方法，对不同......

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光学微镜垂直扭转梳齿驱动折叠梁光学反射硅微加工 optical micromirror vertical torsion comb driver

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