折叠梁相关论文
文章介绍了硅微电容式加速度传感器的工作原理,设计了一种变极距电容低频矢量水听器,通过将加速度敏感结构做成差动式电容、采用对......
介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理.该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量,减小......
MEMS驱动器作为微电子机械系统的基本单元，具有尺寸小、成本低、机械特性好和可批量化生产等优点，在光学、通信、生物医学、精密加工......
学位
目前,以PCB板为基础的多芯片技术在速度、功耗等方面已无法满足现代信息系统的要求.为了达到高速、低功耗的目的出现了"系统芯片"......
微谐振器是试飞测试系统的重要组成部件,微谐振器的性能影响到试飞测试系统的精确度。为了提高微谐振器的性能,在传统结构的基础上......
采用理论分析和有限元数值模拟相结合的方法,对压电折叠梁微执行器在低电压下工作时的器件结构进行优化设计。首先通过理论分析获......
微机械电容式加速度计的基本参数如固有频率、非线性度、分辨率等首先取决于其本身的结构，因此加速度计结构的设计选取至关重要。本......
针对传统悬臂梁振动发电频带窄的问题,提出了一种弹性折叠梁结构。仿真分析了该结构的振动特性,探讨了结构参数变化对共振频率的影......
介绍了一种基于横向金属接触的DC-5GHz单刀双掷RF MEMS开关的研究与设计．横向金属接触开关包括了一套有限的共面波导（FGCPW）传输线和......
z轴硅微机械陀螺仪采用体硅薄片溶解法制作,在加工过程中引入了残余应力.从理论上分析了残余应力对z轴陀螺仪工作模态的影响,并采......
针对MEMS陀螺中常见的折叠梁结构,建立了折叠梁的理论模型,并在SABER平台上建立了其系统级模型.进而将两根折叠梁相连的模型用于ME......
为了改善扭转微镜的机电耦合特性和光学特性，提出了一种新的基于SOI硅片的垂直扭转梳齿静电驱动结构．通过有限元与边界元方法，对不同......
硅微电容式加速度传感器具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点,在军民两用市场中有着广泛的应用前景.本文针对自......
期刊
阐述了一种主要由质量块、折叠梁结构、触点电极和自锁/解锁机构组成的微型加速度开关的研制过程.设计过程中采用有限元软件Ansys......
介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理.该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量,故驱......
单自由度压电能量采集器因其结构特点,其有效工作频带范围较窄,难以在实际的无线传感器网络节点和可穿戴设备等领域应用。本文提出......
通过ANSYS有限元仿真软件对横向振动微谐振器进行静态、模态和谐响应仿真分析。在静态和模态分析中，得到水平方向最大静位移和谐振......
本论文“微机械陀螺的材料和器件设计研究”主要围绕两个方面开展工作。 第一方面是中美合作项目“用于微传感器和微驱......
对MEMS中并联或串联组合而成的两种折叠梁形式的总刚度进行了分析，分析了两种梁在总刚度相同的条件下对加工误差的灵敏度，指出在加工......
对微机电系统(MEMS)加速度传感器ADXL203的微机械结构建立三维模型,使用卡式定理与线性弹性理论推导折叠梁X,Y,Z方向刚度,并利用AN......
随着微机械工业的越来越成熟,继压力传感器后,MEMS加速度传感器也成为了成功的商业化器件。本文对微机械加速度传感器进行了设计分......
