光学散射测量相关论文
在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由......
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作为一种快速、低成本和非接触的测量手段,光学散射测量在半导体制造业中的纳米结构三维形貌表征方面获得了广泛关注与运用.光学散......
凭借快速、非破坏、低成本等特性,光学散射仪已经被广泛运用在集成电路制造工艺线上的纳米结构几何形貌关键尺寸(CD, Critical Dim......
相比于扫描电子显微镜和原子力显微镜等传统测量手段,光学散射测量技术在满足纳米级尺度测量要求的同时具有快速、低成本、非破坏......
由于具有测量速度快、成本低、非破坏性等优点,光学散射测量技术已经发展成为批量化纳米制造中纳米结构形貌参数在线测量的一种重......
为了实现有效的工艺监控,在批量化纳米制造中对纳米结构的关键尺寸等几何参数进行快速、低成本、非破坏性的精确测量具有十分重要......
衍射光栅作为一种重要的光学元件,在诸多领域具有不可替代的重要作用,其结构参数的测量具有重要意义。随着光栅制造技术和应用领域......
