光计量相关论文
本文对正性电子束抗蚀剂ZEP-520低能(0.5kev~2keV)电子束曝光特性进行了系统的研究.利用180nm厚的ZEP-520抗蚀剂,研究了低能范围电......
会议
在65和45nm节点,随着新材料和新结构的出现,对薄膜计量的要求变得越来越复杂,可是计量预算更紧张。仅仅在关键制程中监测厚度和折......
屈光不正患者经常会发现,到不同的眼镜店验光,会得到不同的验光结果,有时这种计量结果的差别相当大,可达到100度甚至更多;有时连瞳......